仪器简介：

SR2000N 是一款量测面电阻、电阻率的全自动款测试系统。本系统可D立运行，并可通过 PC 和Z用软件进行完善的远程控制，提供多种数据分析功能。

广泛应用于半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏......

技术参数：

- Z大可测样品尺寸：Φ200mm 或 140×140mm

面电阻测量：1mΩ/sq ～ 2MΩ/sq

- 测量模式 : 接触式 4-探针

电阻率测量：10.0 μΩ·cm ～ 200.0 KΩ·cm

- 测量模式 : 接触式 4-探针 (需输入厚度)


软件系统：

- Recipe 测试：根据使用者设定的 Recipe 直接测试

- 标准测试：ASTM、SEMI

- Pattern 测试：49，81，121，225 点等

- 数据分析：2D、3D、数据图谱、统计等

- 数据 & mapping 可打印

主要特点：

- X,R,Z轴全自动控制系统

- 自动& 手动范围可选

- 通过PC进行控制

- 样品台尺寸大小可订制